Keramisk kapasitiv absolutt trykksensor
En keramisk kapasitiv absolutttrykksensor er en type sensor som bruker alumina-keramikk som kjernemateriale og måler trykk i forhold til et absolutt vakuumreferansepunkt ved å oppdage endringer i kapasitans.
Enkelt sagt er det en "variabel kondensator" som direkte konverterer trykk til en endring i kapasitans, med referansehulrommet hermetisk forseglet under vakuum.
Struktur og arbeidsprinsipp
Kjernekomponenten er en keramisk kapasitiv sensorkjerne, vanligvis produsert ved bruk av flerlags-samfyringsteknologi:
Struktur:Den består av et keramisk substrat med en fast elektrode og en keramisk tynn film (membran) som fungerer som den bevegelige elektroden, bundet sammen ved høye temperaturer ved hjelp av glassfritte.
Etter liming dannes et ekstremt lite, hermetisk forseglet vakuumreferansehulrom mellom dem. Dette er nøkkelen til å oppnå absolutt trykkmåling.
Denne strukturen danner en parallell-platekondensator:
- Plate 1: Den faste nedre elektroden (trykt på det keramiske underlaget).
- Plate 2: Den bevegelige øvre elektroden (selve den keramiske membranen, vanligvis metallisert).
- Dielektrisk: Vakuum (inne i referansehulrommet) og keramikk.
Driftsprosess
- Opprinnelig tilstand:Under absolutt vakuum er den keramiske diafragmaen udeformert, og kapasitansverdien er en startverdi, C₀.
- Påført trykk:Når ytre trykk (absolutt trykk) virker på utsiden av den keramiske membranen, gjennomgår membranen en liten bøyningsdeformasjon mot vakuumreferansehulrommet.
- Kapasitansendring:Denne deformasjonen fører til at avstanden mellom de to kondensatorplatene reduseres.
I henhold til parallell-platekondensatorformelen C=εA/d(hvor ε er permittiviteten og A er det relative platearealet), resulterer en reduksjon i avstand i en økning i kapasitansverdien C.
- Signalmåling:En påfølgende dedikert krets (vanligvis en ASIC - Application-Spesific Integrated Circuit) oppdager denne minste endringen i kapasitans, konverterer, forsterker og lineariserer den, og sender til slutt ut et standardisert signal (som spenning eller et digitalt signal) proporsjonalt med det absolutte trykket.
Populære tags: keramisk kapasitiv absolutt trykksensor, Kina keramisk kapasitiv absolutt trykksensor leverandører
